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本論文使用分子動力學模擬(molecular Dynamics, MD)模擬原子鎢/鎳濺鍍在銅基材,探討薄膜的成長機制與成長形貌,並且使用粗糙度及覆蓋率來評估薄膜品質,而模擬的濺鍍製程參數包括基材的…